Seit 1984 baut ALMATEC Spezialpumpen für Chemikalienversorgung und Badumwälzung in der Halbleiterindustrie. Die Pumpenbaureihe FUTUR wurde speziell für die besonderen Anforderungen dieses Bereiches entwickelt, insbesondere durch die Innendurchströmung des Fördermediums.
Alle Pumpen der Baureihe FUTUR sind trockenlaufsichere und selbstansaugende Druckluft-Membranpumpen. Sie weisen einen kompakten, einfachen Aufbau mit nur wenigen Teilen auf. Die Massivbauweise der Gehäuseteile sorgt für eine lange Lebensdauer. Reinigung, Montage und Endprüfung der FUTUR Pumpen erfolgt in einer Reinraumlinie. Für alle Baugrößen und Werkstoffvarianten stehen entsprechende Pulsationsdämpfer zur Verfügung.
Die Werkstoffvarianten für die unterschiedlichen Einsatzfälle in der Halbleiterindustrie:
- Vier Baugrößen in PTFE/UPPE für Säuren und Laugen bis 130°C (Typ FUTUR T)
- Zwei Baugrößen in PTFE für Heißanwendungen von Säuren und Laugen bis 200°C (Typ FUTUR H)
- Zwei Baugrößen in PE für Poliermittel (Typ FUTUR E)
- Zwei Baugrößen in Edelstahl für Lösemittel (Typ FUTUR S und SH)